工作原理
RTEC多模式3D光學輪廓儀融合了多種先進的光學測量技術,如白光干涉、共聚焦顯微等。以白光干涉模式為例,白光光源發(fā)出的光經(jīng)分光鏡分成兩束,一束照射到參考鏡,另一束照射到樣品表面。由于樣品表面存在高度差異,兩束反射光產(chǎn)生光程差,形成干涉條紋。通過高分辨率圖像傳感器采集干涉條紋圖像,并利用算法處理得到表面高度信息。共聚焦顯微模式則利用針孔濾波技術,只有焦點處的光能通過針孔,通過逐點掃描樣品表面,獲取每個點的強度信息,進而重建出樣品表面的三維形貌。不同模式可根據(jù)樣品特性和測量需求靈活切換。
應用范圍
精密機械加工領域能評估零部件的表面粗糙度、輪廓精度等,提高產(chǎn)品質(zhì)量;生物醫(yī)學方面,可對細胞、組織等生物樣本的表面形貌進行觀察和分析,助力生物醫(yī)學研究;此外,還適用于光學元件、材料科學等領域。
產(chǎn)品技術參數(shù)
垂直測量范圍可達10mm,垂直分辨率高達0.01nm。水平視場范圍從0.1×0.1mm到10×10mm可選,水平分辨率最高可達0.05μm。測量速度較快,小視場測量可在數(shù)秒內(nèi)完成。具備高精度的運動平臺,可實現(xiàn)樣品在X、Y、Z三個方向的精確移動和定位,定位精度優(yōu)于0.1μm。
產(chǎn)品特點
多模式測量功能,可適應不同類型樣品的測量需求。高精度和高分辨率,能夠捕捉到樣品表面的細微變化。操作界面簡潔直觀,易于上手,同時配備專業(yè)的分析軟件,可對測量數(shù)據(jù)進行多種分析和處理,生成直觀的三維圖像和報告。設備穩(wěn)定性好,能夠在長時間運行中保持測量精度。