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可調節高度的掃描電鏡樣品臺

573   編輯:中冶有色網   來源:江西省科學院應用物理研究所  
2024-05-28 13:58:30
權利要求書: 1.一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺,包括大樣品臺和帶燕尾槽的底座,其特征在于,所述電鏡樣品臺還包括小樣品臺和轉柄;所述大樣品臺上面和下面分別設置有若干個圓孔和螺孔;小樣品臺通過其上的螺桿安裝在大樣品臺的螺孔中,小樣品臺螺桿的端部安裝固定在轉柄螺孔中;所述帶燕尾槽的底座安裝在大樣品臺下面,燕尾槽槽口朝下。2.根據權利要求1所述的一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述大樣品臺上開有九個圓孔,沿圓周方向均勻分布8個,大樣品臺中心一個圓孔,每個圓孔的垂直方向的上部是圓孔,下部是螺孔,所述圓孔與螺孔的中心線重合。3.根據權利要求1所述的一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述小樣品臺上部為T形圓臺結構,下部為螺紋結構;下部螺紋與轉柄螺孔相配;所述大樣品臺共配置9個小樣品臺。4.根據權利要求1所述的一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述轉柄為圓柱形,長度方向的中心線開有螺孔,轉柄外圓制有滾紋,每小樣品臺配置一個轉柄。5.根據權利要求1所述的一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺,其特征在于,所述大樣品臺下部安裝有帶燕尾槽的底座,底座避開螺孔位置;底座?蓋中心螺孔的位置處,開有直徑大于轉柄的圓孔;所述帶燕尾槽的底座通過螺栓與大樣品臺連接固定;大樣品臺底部的燕尾槽結構與蔡司掃描電鏡的樣品臺連接機構相配合。 說明書: 一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺技術領域[0001] 本實用新型涉及一種可調節高度的掃描電鏡樣品臺,屬電鏡輔助設施技術領域。背景技術[0002] 掃描電子顯微鏡和X射線能譜儀已成為檢測物質性能的重要手段。[0003] 我國目前已經擁有相當數量的掃描電鏡和能譜儀,廣泛用于金屬、陶瓷、高分子、礦產和食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結構分析、微區成分分析等,是不可替代的設備。其工作原理是掃描電鏡電子槍發射出電子束,經加速和匯聚后,形成高能電子束,轟擊在樣品表面,產生一系列光電信號,不同信號探測器對其進行收集,獲得顯微圖像和能譜。要獲得良好的圖像質量和準確的能譜數據,需要調整合適的加速電壓,電子束電流和工作距離等參數。一般情況下,工作距離在8mm?10mm左右可以獲得良好的圖像質量和準確的能譜數據。[0004] 目前商業化的掃描電鏡樣品臺結構簡
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“可調節高度的掃描電鏡樣品臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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