本實用新型涉及氣體檢測領(lǐng)域,尤其是對多晶硅生產(chǎn)中尾氣的檢測,公開了一種氣體送樣裝置及氣體檢測系統(tǒng),氣體送樣裝置包括進樣器和載氣管道,載氣管道包括形成載氣通道的管壁,管壁上開設(shè)有進樣口;進樣器設(shè)置于進樣口外側(cè),進樣器包括筒體、設(shè)置于筒體的進氣管以及可滑動地設(shè)置于筒體內(nèi)的活塞,筒體的壁面上開設(shè)有進氣口;進氣管或進樣口設(shè)置有啟閉裝置,啟閉裝置用于連通或隔斷進氣管與載氣管道。氣體送樣裝置的送樣過程簡單穩(wěn)定,無夾雜無損失。氣體檢測系統(tǒng)包括了該氣體送樣裝置,氣體通過預(yù)處理系統(tǒng)處理后,定量地輸入至氣體送樣裝置中,無損失無夾雜地通過氣體送樣裝置全部送入檢測設(shè)備中,實驗準(zhǔn)確,操作方便。
聲明:
“氣體送樣裝置及氣體檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)