YH-CW50壓痕儀是長春因賽圖精密儀器設(shè)備有限公司自主研發(fā)的高精度微納米力學(xué)性能測試設(shè)備,依托吉林大學(xué)材料服役性能測試技術(shù)與智能裝備科研團(tuán)隊(duì)的技術(shù)成果,專為薄膜、鍍層及微機(jī)電系統(tǒng)材料的力學(xué)性能檢測設(shè)計(jì)。其核心工作原理基于壓痕測試技術(shù):通過壓電致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)金剛石壓頭以0-50N載荷范圍垂直壓入材料表面,實(shí)時(shí)采集載荷-位移曲線數(shù)據(jù),結(jié)合配套分析軟件計(jì)算彈性模量、硬度、斷裂韌性等關(guān)鍵參數(shù),并生成三維力學(xué)性能圖譜。設(shè)備采用高剛度框架設(shè)計(jì),配合閉環(huán)反饋控制系統(tǒng),確保壓痕深度控制精度優(yōu)于50nm,載荷分辨率達(dá)1nN。
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