高真空熱蒸發(fā)鍍膜設備是一種利用電阻加熱或電子束加熱使材料蒸發(fā),并在高真空環(huán)境下沉積到基片表面形成薄膜的 物理氣相沉積(PVD) 設備。該系統(tǒng)廣泛應用于光學薄膜、電子器件、裝飾鍍膜等領(lǐng)域。
高真空多功能真空鍍膜機是一種集成了多種鍍膜技術(shù)(如熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等)的先進設備,能夠在高真空環(huán)境下實現(xiàn)不同類型的薄膜沉積,滿足科研與工業(yè)中對復雜薄膜的需求。
真空熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)是一種常見的物理氣相沉積(PVD)技術(shù),通過加熱蒸發(fā)材料使其在真空環(huán)境中氣化,隨后凝結(jié)在基片表面形成薄膜。
多功能蒸鍍設備(Multi-functional Deposition System)是集成了多種PVD技術(shù)(如熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射等)的復合型鍍膜設備,通常具備:模塊化真空腔體設計,多類型蒸發(fā)源/濺射靶兼容,基片多自由度運動系統(tǒng),實時膜厚監(jiān)測能力,輔助離子源/加熱裝置。
高真空多源熱蒸發(fā)設備是一種基于電阻加熱原理的物理氣相沉積(PVD)設備,通過多個獨立可控蒸發(fā)源(通常2-14個),在高真空環(huán)境(10??~10?? Pa)下實現(xiàn):單質(zhì)/合金薄膜的共蒸,多層復合結(jié)構(gòu)沉積,梯度成分材料制備。
14源電阻式熱蒸發(fā)設備是一種超多材料共蒸系統(tǒng),通過高真空環(huán)境(10??~10?? Pa)和電阻加熱蒸發(fā),實現(xiàn)復雜組分薄膜的精確制備。
三源熱蒸發(fā)設備是一種基于電阻加熱蒸發(fā)的鍍膜系統(tǒng),配備3個獨立蒸發(fā)源,可在高真空(10??~10?? Pa)環(huán)境下沉積金屬或化合物薄膜。
高真空六源熱蒸發(fā)設備是一種基于電阻加熱蒸發(fā)原理的鍍膜設備,配備6個獨立蒸發(fā)源,可在高真空(10??~10?? Pa)環(huán)境下實現(xiàn)多材料共蒸或順序沉積,適用于復雜組分薄膜的制備。
團簇式高真空多功能鍍膜設備是一種模塊化、多腔室集成的先進鍍膜系統(tǒng),可在高真空或超高真空(10??~10?? Pa)環(huán)境下實現(xiàn)多種鍍膜工藝的連續(xù)處理,避免樣品暴露大氣,提高鍍膜質(zhì)量和效率。
1、真空室腔體:1套。外形:304優(yōu)質(zhì)不銹鋼D形前后開門真空室腔體1套,后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內(nèi)部調(diào)試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門,真空室內(nèi)部尺寸D350*480mm,前后門各配DN100視窗1套; 底部:有機源接口4套,JTFB-600風冷復合分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及美國MCVAC水冷膜厚探頭接口2套;
真空室腔體:1套;外形:304優(yōu)質(zhì)不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈式方門,方便清洗真空腔體,真空室內(nèi)部調(diào)試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(真空室內(nèi)部尺寸D400*480mm),前后門各配DN100視窗1套; 底部:金屬蒸發(fā)源接口8套, JTFB-600風冷復合分子泵接口1套,CF25照明接口2套以及美國MCVAC水冷膜厚探頭接口2套; 頂部:樣品臺接口1套,電動擋板接口1套,KF16氣動角閥接口1套;
該設備是一臺超高溫超高真空蒸餾爐,主要利用不同成分在相同溫度下蒸汽壓及冷凝溫度不同的原理,用于高熔點稀有或稀土金屬熔煉及蒸餾提純。
一、電子束水冷樣品臺組件1件: 1、旋轉(zhuǎn):57CM23步進電機,1件光電限位開關(guān)(前后兩點); 2、升降:57CM23步進電機,配速比1:5減速器,升降2點接觸限位開關(guān),觸摸屏上顯示電子束高點400mm,低點300mm,金屬源高點340mm,低點240mm,另取1點,可隨意定位; 3、樣品臺擋板:24V減速電機,2件限位開關(guān)。
鍍膜設備以蒸發(fā)源為主體,適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物等,也可用作教學及生產(chǎn)線前期工藝試驗等,整套設備操作簡便,綜合功能多,擴展空間大,適合及滿足大專院校的教學與科研工作。
真空區(qū)熔爐主要分水平區(qū)熔和立式區(qū)熔二種。主要應用于金屬或合金在真空狀態(tài)或保護氣氛下的區(qū)熔提純和精煉。
VIM-HC真空懸浮熔鑄爐是在真空條件下將所熔煉的金屬或非金屬固體爐料,置于感應線圈所形成的高頻或中頻交變電場中,并利用通水冷卻的金屬坩堝作為磁場的“聚能器”,使能源磁場能量集中于坩堝容積空間,進而在爐料的表層附近形成強大的渦電流,一方面釋放出焦耳熱使爐料溶化,另一方面形成洛侖茲力場使熔體懸浮(或半懸浮)和攪拌。由于磁懸浮的作用,使熔體與坩堝內(nèi)壁脫離接觸,這樣熔體與坩堝壁之間的散熱行為由傳導散熱改變?yōu)檩椛渖幔瑥亩鴮е律崴俣染蹨p。使熔體可達到很高的溫度,(1500℃—2500℃)宜于熔煉高熔點金屬或其合金。
凝殼爐鑄造用石墨型殼、陶瓷型殼真空下除氣處理及金屬材料的淬火后的回火及各種材料、零件真空下的脫脂除氣。
主要用于石油、石化領(lǐng)域潔凈不銹鋼及航空、電力能源領(lǐng)域等薄壁不銹鋼管的退火、時效處理;也用于奧氏體不銹鋼管、鐵鎳基耐蝕合金管及高溫合金管等管棒材的固溶處理。
主要用于電力能源領(lǐng)域、航空航天領(lǐng)域鎳基高溫合金管及馬氏體不銹鋼管等產(chǎn)品的退火、及時效處理等;也用于奧氏體不銹鋼管、鐵鎳基耐蝕合金管及高溫合金管等管棒材的固溶處理。
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