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鉬鈦合金靶材的銑削加工方法

1942   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:寧波江豐電子材料股份有限公司  
2022-10-28 14:20:50
權(quán)利要求 1.鉬鈦合金靶材的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削加工方法包括: 采用銑削刀具對(duì)鉬鈦合金靶材的待加工面進(jìn)行銑削處理;所述銑削處理過(guò)程中使用的切削液的折光讀數(shù)為12-15; 所述銑削刀具的型號(hào)為R245-18T6M-PM1010。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削刀具的前角為12-15°。 3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削刀具的表面涂覆有TiAlN涂層。 4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削處理的切削速度為138-142m/min。 5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削處理的進(jìn)給量為150-300mm/min。 6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削處理的吃刀量為0.2-0.3mm。 7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的銑削加工方法,其特征在于,所述鉬鈦合金靶材的硬度為380-400HV。 8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的銑削加工方法,其特征在于,所述切削液包括油基切削液和/或水基切削液。 9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的銑削加工方法,其特征在于,所述油基切削液包括動(dòng)物油、植物油或礦物油中的任意一種或至少兩種的組合; 優(yōu)選地,所述水基切削液包括乳化液和/或合成液。 10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的銑削加工方法,其特征在于,所述銑削加工方法包括: 采用銑削刀具對(duì)鉬鈦合金靶材的待加工面進(jìn)行銑削處理;所述銑削處理過(guò)程中使用的切削液的折光讀數(shù)為12-15;所述切削液包括油基切削液和/或水基切削液; 所述銑削刀具的型號(hào)為R245-18T6M-PM1010;所述銑削刀具的前角為12-15°;所述銑削刀具的表面涂覆有TiAlN涂層; 所述銑削處理的切削速度為138-142m/min,進(jìn)給量為150-300mm/min,吃刀量為0.2-0.3mm; 所述鉬鈦合金靶材的硬度為380-400HV。 說(shuō)明書(shū) 鉬鈦合金靶材的銑削加工方法 技術(shù)領(lǐng)域 本發(fā)明屬于磁控濺射技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種靶材的銑削加工方法,具體涉及一種鉬鈦合金靶材的銑削加工方法。
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